Измерения и контроль в микроэлектронике

Измерения и контроль в микроэлектронике — В книге рассматриваются основные контрольно-измерительные операции, методы и средства контроля, используемые при производстве интегральных микросхем. Для формирования у студентов единого подхода к вопросам измерения и контроля материал пособия излагается на основе действующих государственных и отраслевых стандартов. С этой же целью в нем рассматриваются главные понятия из области метрологии и основы технологии изготовления интегральных микросхем.

Название: Измерения и контроль в микроэлектронике
Автор: Дубовой Н. Д., Осокин В. И., Очков А. С. и др.
Издательство: Высшая школа
Год: 1984
Страниц: 367
Формат: PDF