Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.

Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования

Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Д.В. Камлюк
Язык: Русский
Издательство: РИПО
Жанр: Электроника
Год выхода: 2014
Формат: pdf
Страниц: 391