Катодное распыление

Катодное распыление — В книге дается обзор состояния экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике. Указаны методы борьбы с распылением, когда оно вызывает нежелательные последствия.
Монография может оказать помощь инженерно-техническим и научным работникам электронной, электровакуумной, оптической и полупроводниковой промышленности.
В ней затрагиваются вопросы, которые могут заинтересовать инженеров-физиков, специалистов в области физики плазмы и твердого тела, металлофизиков и химиков, а также студентов.

Название: Катодное распыление
Автор: Плешивцев Н. В.
Издательство: Атомиздат
Год: 1968
Страниц: 360
Формат: PDF