Техническая механика микросистем

Техническая механика микросистем — Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики.
Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Пособие также может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.

Название: Техническая механика микросистем
Автор: Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В. и др.
Издательство: Бином. ЛЗ
Год: 2015
Страниц: 178
Формат: PDF